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Impact of c- and m- sapphire plane orientations on the structural and electrical properties of β-Ga2O3 thin films grown by metal-organic chemical vapor deposition
c-和m-蓝宝石平面取向对金属有机化学气相沉积β-Ga2O3薄膜结构和电学性能的影响
相关领域
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期刊:Journal of Physics D 作者:Erick Serquen Infante; Fabiola Bravo Hualpa; Zeyu Chi; Lima Enrique; Kevin Lizarraga Olivares; et al 出版日期:2024-09-03 |
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