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标题
Metal-Catalyzed Electroless Etching of Silicon in Aerated HF/H2O Vapor for Facile Fabrication of Silicon Nanostructures
在充气HF/H2O蒸汽中金属催化化学蚀刻硅以制备硅纳米结构
相关领域
硅 材料科学 蚀刻（微加工） 制作 纳米技术 催化作用 纳米结构 化学工程 各向同性腐蚀 金属 冶金 化学 有机化学 病理 替代医学 工程类 医学 图层（电子）
网址
https://doi.org/10.1021/nl500361u
AI链接 nih.govdoi.org
DOI
10.1021/nl500361u doi
其它 期刊：Nano Letters
作者：HU Ya; Kui‐Qing Peng; 貞行 高橋; Xing Huang; Fuqiang Zhang; et al
出版日期：2014-07-18
求助人
qll 在 2025-04-13 14:44:42 发布自河南，悬赏 10 积分
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