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标题
MEMS piezoelectric bionic directional sound sensor based on ZnO thin film
基于ZnO薄膜的MEMS压电仿生定向声传感器
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网址
https://doi.org/10.1016/j.sna.2022.113971
DOI
10.1016/j.sna.2022.113971 doi
其它 期刊：Sensors and Actuators A-physical
作者：Qingqing Fan; Yuguang Zhai; Junhong Li; Yufeng Zhang; Jun Ma; et al
出版日期：2022-10-29
求助人
清都 在 2025-03-23 14:42:13 发布自捷克，悬赏 10 积分
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