Application of holographic interferometry to in-plane and out-of-plane misalignment and deformation measurements in packaging applications

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标题	Application of holographic interferometry to in-plane and out-of-plane misalignment and deformation measurements in packaging applications 全息干涉测量在包装应用中面内和面外错位和变形测量中的应用相关领域干涉测量全息干涉法光学平面（几何）全息术电子散斑干涉技术光子学变形（气象学）物理过程（计算）相（物质）计算机科学几何学数学操作系统量子力学气象学
网址	https://doi.org/10.1117/12.2182306
DOI	10.1117/12.2182306 doi
其它	期刊：Proceedings of SPIE, the International Society for Optical Engineering/Proceedings of SPIE 作者：Vladimir V. Nikulin; Rahul Khandekar; Vijit Bedi 出版日期：2015-05-14
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