Low temperature defect passivation technology for semiconductor electronic devices—supercritical fluids treatment process

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标题	Low temperature defect passivation technology for semiconductor electronic devices—supercritical fluids treatment process 半导体电子器件低温缺陷钝化技术-超临界流体处理工艺相关领域钝化材料科学光电子学半导体薄脆饼晶体管半导体器件纳米技术图层（电子）电气工程工程类电压
网址	https://doi.org/10.1016/j.mtphys.2020.100225
DOI	10.1016/j.mtphys.2020.100225 doi
其它	期刊：Materials Today Physics 作者：Ting‐Chang Chang; Po‐Hsun Chen; Chung‐Yung Lin; Chih‐Cheng Shih 出版日期：2020-05-15
求助人	可靠一德在 2025-02-26 23:43:47 发布自湖北，悬赏 10 积分
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