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标题
[高分] 学位论文 Micro acoustic metamaterials for innovative AlN/AlScN-based RF MEMS
用于创新AlN/AlScN基射频MEMS的微声学超材料
相关领域
微电子机械系统 超材料 材料科学 光电子学 工程类
网址
https://doi.org/10.17760/d20659766
AI链接 northeastern.edudoi.org
DOI
10.17760/d20659766 doi
其它 期刊：
作者：Xuanyi Zhao
出版日期：2024-01-01
求助人
左诗云 在 2025-02-28 15:54:03 发布自上海，悬赏 50 积分
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