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Surface defect compensation of Ga2O3 thin films N-doped by nitrogen plasma for enhanced electrical performance and luminescence effect
氮等离子体掺氮Ga2O3薄膜表面缺陷补偿提高电学性能和发光效应
相关领域
材料科学
兴奋剂
发光
接受者
掺杂剂
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薄膜
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化学
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期刊:Journal of Applied Physics 作者:Xueqiang Ji; Xiaohui Qi; Jianying Yue; Jinjin Wang; Zuyong Yan; et al 出版日期:2023-07-06 |
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