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标题
Impact of ion species on ion beam sputtered Ta2O5 layer quality parameters and on corresponding process productivity: A preinvestigation for large-area coatings
离子种类对离子束溅射Ta2O5层质量参数和相应工艺生产率的影响：大面积涂层的初步研究
相关领域
离子镀 图层（电子） 分析化学（期刊） 离子束辅助沉积 离子束沉积 基质（水族馆） 聚焦离子束 离子注入 光电子学 原子层沉积
网址
https://doi.org/10.1116/6.0001224
DOI
10.1116/6.0001224 doi
其它 期刊：Journal of Vacuum Science and Technology
作者：Wjatscheslaw Sakiew; Philippe Schwerdtner; Marco Jupé; Andreas Pflug; Detlev Ristau
出版日期：2021-09-14
求助人
ryg 在 2025-01-06 16:05:37 发布自中国，悬赏 10 积分
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