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Sensitivity analysis of packaging effect of silicon-based piezoresistive pressure sensor
硅基压阻式压力传感器封装效应的灵敏度分析
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期刊:Sensors and Actuators A Physical 作者:Tsung-Lin Chou; Chen-Hung Chu; Chun‐Te Lin; Kuo‐Ning Chiang 出版日期:2009-03-27 |
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