Effect of the RF bias on the plasma density in an argon inductively coupled plasma

已完结

文献求助详情

标题	Effect of the RF bias on the plasma density in an argon inductively coupled plasma 射频偏压对氩电感耦合等离子体密度的影响相关领域感应耦合等离子体物理偏压等离子体射频功率放大器无线电频率原子物理学电压等离子体参数分析化学（期刊）化学光电子学电气工程核物理学放大器 CMOS芯片色谱法量子力学工程类
网址	https://doi.org/10.1063/5.0015555
DOI	10.1063/5.0015555 doi
其它	期刊：Physics of Plasmas 作者：Ho-Won Lee; Kyung-Hyun Kim; Jong In Seo; Chin‐Wook Chung 出版日期：2020-09-01
求助人	小白在 2025-03-19 14:03:26 发布自北京，悬赏 10 积分
下载	求助已完成，仅限求助人下载。
	温馨提示：该文献已被科研通学术中心收录，前往查看科研通『学术中心』是文献索引库，收集文献的基本信息（如标题、摘要、期刊、作者、被引量等），不提供下载功能。如需下载文献全文，请通过文献求助获取。

上个求助

下个求助

该求助已完结，感谢关注

如需该文献，请重新发布求助，前往发布

科研通的所有服务均免费，并承诺对个人用户永久免费！

请遵守相关知识产权规定，勿将文件分享给他人，仅可用于个人研究学习

我的文献求助列表浏览历史

一分钟了解求助规则 | 捐赠本站 | 历史今天

科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。

实时播报: 答案先生完成签到，获得积分10

刚刚; 科研通AI5上传了应助文件

刚刚; Think完成签到，获得积分10

刚刚; eleven发布了新的文献求助10

1秒前; 研友_VZG7GZ上传了应助文件

1秒前; JamesPei上传了应助文件

1秒前; 小羊肖恩完成签到，获得积分10

1秒前; YK发布了新的文献求助200

2秒前; 所所上传了应助文件

2秒前; 脑洞疼的应助被oniya采纳，获得10

2秒前; yuwq完成签到，获得积分10

2秒前; 章丘吴彦祖完成签到，获得积分20

3秒前; 赘婿上传了应助文件

3秒前; 我来学习学习上传了应助文件

4秒前; Tayzon完成签到，获得积分10

4秒前; 研友_Z11kkZ完成签到，获得积分20

4秒前; 彭于晏上传了应助文件

5秒前; 大模型的应助被罗罗的足球师傅采纳，获得10

5秒前; 科研通AI5上传了应助文件

5秒前; 科研通AI2S上传了应助文件

5秒前; 妞妞公主喜欢派大星的应助被月月采纳，获得10

6秒前; CyrusSo524发布了新的文献求助200

6秒前; 苍蝇搓手发布了新的文献求助10

6秒前; 笑点低怜阳发布了新的文献求助10

6秒前; 聪慧的惊蛰完成签到，获得积分10

6秒前; 桐桐的应助被彭鑫采纳，获得10

6秒前; 研友_Z11kkZ发布了新的文献求助10

6秒前; FashionBoy的应助被king采纳，获得10

6秒前; dasd发布了新的文献求助10

7秒前; 文静的枕头完成签到，获得积分10

7秒前; SYLH上传了应助文件

7秒前; zzx发布了新的文献求助10

7秒前; 彭于晏的应助被shine采纳，获得10

7秒前; yyy发布了新的文献求助10

8秒前; 关舒心的应助被信件箱采纳，获得10

8秒前; Ava的应助被信件箱采纳，获得10

8秒前; 暴躁的夏烟上传了应助文件

9秒前; 田様上传了应助文件

10秒前; Owen的应助被Quentin9998采纳，获得10

10秒前; 嘿嘿完成签到，获得积分10

10秒前