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 Impacts of TaC Coating on SiC PVT Process Control and Crystal Quality TaC涂层对SiC PVT工艺控制和晶体质量的影响
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期刊：Materials Science Forum 作者：Wei Fan; Hao Qu; Sung Il Chang; Brian Kozak; Gregory Shaffer; et al 出版日期：2019-07-01 |
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