Superlattice effects and limitations of non-destructive measurement of advanced Si/Si1-xGex superlattice structures using Mueller matrix scatterometry (MMSE) and high-resolution x-ray diffraction (XRD)

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标题	Superlattice effects and limitations of non-destructive measurement of advanced Si/Si1-xGex superlattice structures using Mueller matrix scatterometry (MMSE) and high-resolution x-ray diffraction (XRD) 用穆勒矩阵散射法（MMSE）和高分辨率x射线衍射（XRD）无损测量高级Si/Si1-xGex超晶格结构的超晶格效应和局限性相关领域超晶格 X射线晶体学材料科学衍射高分辨率 X射线分辨率（逻辑）基质（化学分析）光学结晶学光电子学物理计算机科学化学复合材料人工智能地质学遥感
网址	http://dx.doi.org/10.1117/12.3010523
DOI	10.1117/12.3010523 doi
求助人	sqm 在 2024-09-26 11:08:12 发布自广东，悬赏 20 积分
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