High-Performance 4H-SiC Schottky Photodiode With Semitransparent Grid-Electrode for EUV Detection

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标题	High-Performance 4H-SiC Schottky Photodiode With Semitransparent Grid-Electrode for EUV Detection 用于EUV检测的高性能半透明栅电极4H-SiC肖特基光电二极管相关领域光电二极管材料科学响应度光电子学极紫外光刻电极肖特基二极管肖特基势垒量子效率紫外线光学二极管光电探测器物理量子力学
网址	https://doi.org/10.1109/lpt.2020.2996308
DOI	10.1109/lpt.2020.2996308 doi
其它	期刊：IEEE Photonics Technology Letters 作者：Zhiyuan Wang; Dong Zhou; Weizong Xu; Danfeng Pan; Fangfang Ren; et al 出版日期：2020-07-01
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