标题 |
Exploring mc‐Silicon Wafers: Utilizing Machine Learning to Enhance Wafer Quality Through Etching Studies
探索mc硅晶片:利用机器学习通过蚀刻研究提高晶片质量
相关领域
薄脆饼
蚀刻(微加工)
各向同性腐蚀
材料科学
硅
轮廓仪
太阳能电池
光电子学
硼
分析化学(期刊)
光学
化学
纳米技术
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图层(电子)
有机化学
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期刊:Crystal research and technology 作者:Madhesh Raji; Sreeja Balakrishnapillai Suseela; M. Srinivasan; Gowthami Anbazhagan; Kentaro Kutsukake; et al 出版日期:2024-02-29 |
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