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标题
Exploring mc‐Silicon Wafers: Utilizing Machine Learning to Enhance Wafer Quality Through Etching Studies
探索mc硅晶片:利用机器学习通过蚀刻研究提高晶片质量
相关领域
薄脆饼 蚀刻(微加工) 各向同性腐蚀 材料科学 轮廓仪 太阳能电池 光电子学 分析化学(期刊) 光学 化学 纳米技术 表面光洁度 复合材料 图层(电子) 有机化学 物理
网址
DOI
10.1002/crat.202300279 doi
其它 期刊:Crystal research and technology
作者:Madhesh Raji; Sreeja Balakrishnapillai Suseela; M. Srinivasan; Gowthami Anbazhagan; Kentaro Kutsukake; et al
出版日期:2024-02-29
求助人
研友_Zzg5K8 在 2024-05-28 08:26:35 发布自江苏,悬赏 20 积分
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