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 Investigation of MEMS Single Turn Meander-Shaped Silicon Carbide Piezoresistive Pressure Sensor on a Clamped Circular Diaphragm for High Pressure Harsh Environment Applications 高压恶劣环境下夹持圆形膜片上MEMS单匝曲流形碳化硅压阻压力传感器的研究
相关领域
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期刊：Journal of Circuits Systems and Computers 作者：Dadasikandar Kanekal; Sumit Kumar Jindal 出版日期：2023-08-28 |
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