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标题
The Effects of Etchant on via Hole Taper Angle and Selectivity in Selective Laser Etching
选择性激光刻蚀中刻蚀剂对通孔锥角和选择性的影响
相关领域
蚀刻（微加工） 各向同性腐蚀 材料科学 选择性 激光器 热的 中间层 光电子学 光学 复合材料 化学 生物化学 物理 气象学 催化作用 图层（电子）
网址
https://www.mdpi.com/2072-666X/15/3/320/pdf?version=17089327...
DOI
10.3390/mi15030320 doi
其它 期刊：Micromachines
作者：Jonghyeok Kim; Byungjoo Kim; Jiyeon Choi; Sanghoon Ahn
出版日期：2024-02-25
求助人
kelly 在 2024-09-06 10:43:31 发布自广东，悬赏 10 积分
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