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 4H-SiC MOSFET Source and Body Laser Annealing Process 4H-SiC MOSFET源极和体激光退火工艺
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期刊：Materials science forum 作者：Cristiano Calabretta; Marta Agati; Massimo Zimbone; Simona Boninelli; Andrea Castiello; et al 出版日期：2020-07-28 |
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