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Duhem model and inverse compensation controller for trajectory tracking in piezo-actuated micropositioning stage based on neural network
基于神经网络的压电微定位台轨迹跟踪的Duhem模型及逆补偿控制器
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期刊:Sensors and Actuators A Physical 作者:Miaolei Zhou; Xiaoning Yang; Chen Zhang; Wei Pan; Yewei Yu; et al 出版日期:2024-07-01 |
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