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羰基金属化学气相沉积制备金属钨/钼膜材料研究及应用进展
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作者：李一，李金普，中国钢研科技集团有限公司,北京 摘要：通过羰基钨/钼化学气相沉积工艺制备金属钨,钼膜材料,是一种低温沉积钨,钼薄膜的高效方法.所制备的钨,钼膜层在提高钢铁材料的耐磨耐蚀性,制备大规模集成电路的电路板材料,有机物合成催化剂,光致变色材料,热辐射转换材料等领域具有良好的应用前景.本文介绍了羰基钨,羰基钼的物理化学性质和合成方法,对羰基金属化学气相沉积法制备钨,钼金属膜及钨钼复合膜材料的研究及应用现状进行了综述,并对羰基金属化学气相沉积法制备金属钨,钼膜材料的未来发展进行了展望. 关键词：六羰基钨 钼膜 物理化学性质 会议时间：2012年11月1日 主办单位：中国工程院 |
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