Processing of thin SU-8 films

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标题	Processing of thin SU-8 films SU-8薄膜的制备相关领域材料科学薄膜残余应力分层（地质）涂层傅里叶变换红外光谱复合材料热稳定性扩散旋涂光刻胶抵抗蒸发沉积（地质）化学工程图层（电子）纳米技术物理沉积物古生物学工程类热力学生物构造学俯冲
网址	https://doi.org/10.1088/0960-1317/18/12/125020
DOI	10.1088/0960-1317/18/12/125020 doi
其它	期刊：Journal of Micromechanics and Microengineering 作者：Stephan Sylvest Keller; Gabriela Blagoi; Michael Lillemose; D. Haefliger; Anja Boisen 出版日期：2008-11-14
求助人	赵同学在 2023-11-04 14:59:02 发布自湖南，悬赏 10 积分
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