Fabrication of Slanted Grating Utilizing Reaction Ion Beam Etching: The Role of CHF3 and O2 Etching Atmosphere

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标题	Fabrication of Slanted Grating Utilizing Reaction Ion Beam Etching: The Role of CHF3 and O2 Etching Atmosphere 利用反应离子束刻蚀制备倾斜光栅：CHF3和O2刻蚀气氛的作用相关领域蚀刻（微加工）材料科学分析化学（期刊）纳米技术化学有机化学图层（电子）
网址	https://doi.org/10.1109/icsict55466.2022.9963283
DOI	10.1109/icsict55466.2022.9963283 doi
其它	期刊：2022 IEEE 16th International Conference on Solid-State & Integrated Circuit Technology (ICSICT) 作者：Na Liu; Guojian Ding; Guankong Mo; Jia Shi; Qi Feng; et al 出版日期：2022-10-25
求助人	DDDcl 在 2024-09-09 12:13:12 发布自广东，悬赏 10 积分
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