Enhanced reflectance of interface engineered Mo/Si multilayers produced by thermal particle deposition

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标题	Enhanced reflectance of interface engineered Mo/Si multilayers produced by thermal particle deposition 热粒子沉积增强界面工程Mo/Si多层膜的反射率相关领域材料科学溅射沉积沉积（地质）图层（电子）原子层沉积 X射线光电子能谱溅射硅光电子学薄膜 X射线反射率压力（语言学）纳米技术分析化学（期刊）化学工程古生物学沉积物生物语言学哲学化学色谱法工程类
网址	http://proceedings.spiedigitallibrary.org/proceeding.aspx?do...
DOI	10.1117/12.711796 doi
其它	期刊：SPIE Proceedings 作者：A. E. Yakshin; R. W. E. van de Kruijs; I. Nedelcu; E. Zoethout; E. Louis; et al 出版日期：2007-04-04
求助人	Y-CityU 在 2024-08-04 21:20:12 发布自中国香港，悬赏 20 积分
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