Plasma-Induced Deterioration of Mechanical Characteristics of Microcantilever

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标题	Plasma-Induced Deterioration of Mechanical Characteristics of Microcantilever 等离子体引起的微悬臂梁力学特性劣化相关领域辐照材料科学等离子体氩制作硅光电子学化学量子力学医学物理病理有机化学核物理学替代医学
网址	https://doi.org/10.1143/jjap.49.04dl20
DOI	10.1143/jjap.49.04dl20 doi
其它	期刊：Japanese Journal of Applied Physics 作者：Maju Tomura; Chi‐Hsien Huang; Yusuke Yoshida; Takahito Ono; Satoshi Yamasaki; et al 出版日期：2010-04-01
求助人	123456 在 2024-08-04 08:58:41 发布自北京，悬赏 10 积分
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