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 Absorbance measurement of polymers at extreme ultraviolet wavelength: Correlation between experimental and theoretical calculations 聚合物在极紫外波长的吸光度测量：实验与理论计算的相关性
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期刊：Journal of Vacuum Science & Technology B Microelectronics and Nanometer Structures Processing Measurement and Phenomena 作者：Young‐Je Kwark; J. Pablo Bravo-Vasquez; Manish Chandhok; Heidi B. Cao; Hai Deng; et al 出版日期：2006-06-30 |
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