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标题
Low Energy Focused Ion Beam for Nanofabrication
用于纳米加工的低能聚焦离子束
相关领域
微加工 制作 离子束 材料科学 聚焦离子束 纳米光刻 纳米技术 离子 梁(结构) 光电子学 光学 物理 医学 替代医学 病理 量子力学
网址
DOI
10.1364/msnp.1995.mthb2 doi
其它 期刊:
作者:Kenji Gamo
出版日期:1995-01-01
求助人
Ion 在 2025-03-05 13:22:35 发布自吉林,悬赏 10 积分
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