Pressure sensing of Ga2O3 thin film

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标题	Pressure sensing of Ga2O3 thin film Ga2O3薄膜的压力传感相关领域薄膜压力传感器材料科学光电子学半导体数码产品化学气相沉积电流（流体）蒸汽压分析化学（期刊）纳米技术电气工程化学机械工程工程类有机化学
网址	https://doi.org/10.1088/1361-665x/acb3a2
DOI	10.1088/1361-665x/acb3a2 doi
其它	期刊：Smart Materials and Structures 作者：Zeng Liu; Shaohui Zhang; Maolin Zhang; Junpeng Fang; Ling Du; et al 出版日期：2023-01-16
求助人	洋洋在 2025-03-07 21:04:16 发布自陕西，悬赏 10 积分
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