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CH3SiCl3-H2-Ar化学气相沉积SiC简化反应模拟
网址
http://dx.doi.org/10.3969/j.issn.1673-0224.2021.02.002
DOI
10.3969/j.issn.1673-0224.2021.02.002
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求助人
Xuhuan
在 2025-04-10 00:01:30 发布自
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