Effect of radio frequency bias on plasma characteristics of inductively coupled argon discharge based on fluid simulations* - 科研通

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标题	Effect of radio frequency bias on plasma characteristics of inductively coupled argon discharge based on fluid simulations* 基于流体模拟的射频偏置对电感耦合氩放电等离子体特性的影响* 相关领域感应耦合等离子体氩等离子体材料科学原子物理学偏压射频功率放大器等离子体原子发射光谱射频功率传输功率密度托尔等离子体参数功率（物理）分析化学（期刊）物理化学光电子学电压热力学量子力学放大器 CMOS芯片色谱法
网址	https://doi.org/10.1088/1674-1056/ab9436
DOI	10.1088/1674-1056/ab9436 doi
其它	期刊：Chinese Physics B 作者：Xiao‐Yan Sun; Yu‐Ru Zhang; Sen Chai; You‐Nian Wang; Yanyan Chu; et al 出版日期：2020-05-19
求助人	小白在 2025-03-14 19:03:26 发布自北京，悬赏 10 积分
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