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标题
Studies of Electrical Parameters and Thermal Stability of HiPIMS Hafnium Oxynitride (HfOxNy) Thin Films
HiPIMS氮化铪（HfOxNy）薄膜的电学参数和热稳定性研究
相关领域
高功率脉冲磁控溅射 铪 材料科学 溅射沉积 X射线光电子能谱 热稳定性 电介质 光电子学 椭圆偏振法 薄膜 哈夫尼亚 分析化学（期刊） 溅射 复合材料 化学工程 纳米技术 锆 冶金 化学 立方氧化锆 陶瓷 色谱法 工程类
网址
https://www.mdpi.com/1996-1944/16/6/2539/pdf?version=1679637...
AI链接 mdpi.com mdpi.com nih.gov nih.govdoi.org
DOI
10.3390/ma16062539 doi
其它 期刊：Materials
作者：Mirosław Puźniak; Wojciech Gajewski; Aleksandra Seweryn; Marcin T. Klepka; B.S. Witkowski; et al
出版日期：2023-03-22
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