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![]() 亚微米精度的基于绝对刻度的成像位置编码器
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期刊:Proceedings of SPIE, the International Society for Optical Engineering/Proceedings of SPIE 作者:Andrey G. Anisimov; Anton V. Pantyushin; Oleg U. Lashmanov; Aleksandr S. Vasilev; А. Н. Тимофеев; et al 出版日期:2013-05-13 |
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