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 Low-temperature growth of Ga2O3 thin films on Si substrates by metal organic chemical vapor deposition and their electrical characteristics 金属有机化学气相沉积法在Si衬底上低温生长Ga2O3薄膜及其电学特性
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期刊：AIP Advances 作者：Jung-Bok Lee; Jee-Hun Jeong; Min-Seok Jang; Da-Hui Yoo; Ho-Jun Lee 出版日期：2023-11-01 |
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