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 Improved critical temperature of superconducting plasma-enhanced atomic layer deposition of niobium nitride thin films by thermal annealing 热退火提高超导等离子体增强原子层沉积氮化铌薄膜的临界温度
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期刊：Thin Solid Films 作者：Liang Tian; Ivane Bottala-Gambetta; Victor Marchetto; Manoël Jacquemin; Alexandre Crisci; et al 出版日期：2020-09-01 |
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