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Sub‐Microsecond Polarization Switching in (Al,Sc)N Ferroelectric Capacitors Grown on Complementary Metal–Oxide–Semiconductor‐Compatible Aluminum Electrodes
互补金属氧化物半导体兼容铝电极上生长的(Al,Sc)N铁电电容器的亚微秒极化开关
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期刊:physica status solidi (RRL) - Rapid Research Letters 作者:Dixiong Wang; Pariasadat Musavigharavi; Jeffrey Zheng; Giovanni Esteves; Xiwen Liu; et al 出版日期:2021-02-06 |
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