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 Residual stress gradient analysis with GIXRD on ZrO2 thin films deposited by MOCVD MOCVD沉积ZrO2薄膜残余应力梯度的GIXRD分析
相关领域
残余应力
材料科学
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期刊：Surface & Coatings Technology 作者：Zhe Chen; Nathalie Prudhomme; Bin Wang; Vincent Ji 出版日期：2011-10-01 |
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