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标题
Time-resolved ion energy distribution in pulsed inductively coupled argon plasma with/without DC bias
有/无直流偏压脉冲电感耦合氩等离子体中离子能量的时间分辨分布
相关领域
占空比 等离子体 原子物理学 离子 材料科学 氩 等离子体诊断 化学 电压 物理 量子力学 有机化学
网址
https://doi.org/10.1116/6.0001737
DOI
10.1116/6.0001737 doi
其它 期刊：Journal of vacuum science and technology
作者：Zhiying Chen; Joel Blakeney; Megan Carruth; Peter L. G. Ventzek; Alok Ranjan
出版日期：2022-04-11
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调研昵称 在 2025-01-13 16:19:31 发布自北京，悬赏 10 积分
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