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 Heterogeneous monolithic 3D integration for hybrid vertical CMOS inverter using n-type IGTO TFT on p-type Si FET 在p型Si FET上使用n型IGTO TFT实现混合垂直CMOS反相器的异构单片3D集成
相关领域
材料科学
逆变器
CMOS芯片
薄膜晶体管
光电子学
晶体管
电子工程
电气工程
纳米技术
工程类
电压
图层（电子）
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| 其它 |
期刊：Materials Science in Semiconductor Processing 作者：Chanseul Lee; Sunbum Kim; G.-J. Kim; Changhwan Choi 出版日期：2024-09-10 |
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