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Crack-free and reliable lithographical patterning methods on PDMS substrate
PDMS衬底上无裂纹且可靠的光刻图案化方法
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期刊:Journal of Micromechanics and Microengineering 作者:Namsun Chou; Jinmo Jeong; Sohee Kim 出版日期:2013-11-14 |
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