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 Integrated hybrid MEMS hydrogen sensor with high sensitivity and high dynamic range 高灵敏度高动态范围集成混合式MEMS氢传感器
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期刊：Electrical Engineering in Japan 作者：Yuichiro Hayashi; Hiroto Yamazaki; Kei Masunishi; Daiki Ono; Tomohiro Saito; et al 出版日期：2020-12-18 |
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