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XPS study of surface potential in AlGaN/GaN heterostructure with Cat‐CVD SiN passivation
CAT-CVD SiN钝化AlGaN/GaN异质结构表面电位的XPS研究
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期刊:Physica status solidi 作者:Norio Onojima; Masataka Higashiwaki; Toshiaki Matsui; Takashi Mimura; Jun Suda; et al 出版日期:2007-06-01 |
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