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 Low-energy carbon and nitrogen ion implantation in silicon 硅中低能碳氮离子注入
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期刊：Journal of vacuum science & technology 作者：L. Barbadillo; María Jesús Hernández; M. Cervera; P. Rodrı́guez; J. Piqueras; et al 出版日期：2001-07-01 |
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