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 Modulated wafer-scale WS2 films based on atomic-layer-deposition for various device applications 用于各种器件应用的基于原子层沉积的调制晶圆级WS2薄膜
相关领域
材料科学
结晶度
薄脆饼
退火（玻璃）
原子层沉积
兴奋剂
钨
二硫化钨
纳米技术
场效应晶体管
光电子学
晶体管
图层（电子）
化学工程
复合材料
冶金
电气工程
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电压
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期刊：RSC Advances 作者：Xiangyu Guo; Heqing Yang; Xichao Mo; Rongxu Bai; Yanrong Wang; et al 出版日期：2023-01-01 |
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