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专利、报告等 (Invited) High-K Evolution: Subnanometer EOT Challenges and Future Perspectives for Scaling
(特邀)高K演化:亚纳米EOT挑战和未来尺度展望
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期刊:ECS Meeting Abstracts 作者:Hei Wong; Jieqiong Zhang; Hiroshi Iwai; Kuniyuki Kakushima 出版日期:2017-09-01 |
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