Grating-based ultra-compact SWNIR spectral sensor head developed through MOEMS technology

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标题	Grating-based ultra-compact SWNIR spectral sensor head developed through MOEMS technology 基于MOEMS技术的光栅超紧凑SWNIR光谱传感器头相关领域栅栏材料科学光学闪耀光栅光电子学薄脆饼分光计微电子机械系统 CMOS芯片光纤布拉格光栅波长衍射光栅物理
网址	https://doi.org/10.1117/12.2510472
DOI	10.1117/12.2510472 doi
其它	期刊：作者：Takafumi Yokino; Katsuhiko Katô; Anna Ui; Shinichi Nakata; Toshiteru Suzuki; et al 出版日期：2019-03-04
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