Highly precise multi-cathode pulsed-DC sputtering employing digital processing–application to layer–by–layer synthesis of cubic (Er0.1Y0.9)2Zr2O7 thin film - 科研通

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标题	Highly precise multi-cathode pulsed-DC sputtering employing digital processing–application to layer–by–layer synthesis of cubic (Er0.1Y0.9)2Zr2O7 thin film 采用数字处理的高精度多阴极脉冲直流溅射在逐层合成立方(Er0.1Y 0.9)2Zr2O7薄膜中的应用相关领域溅射图层（电子）材料科学薄膜沉积（地质）光电子学阴极衍射脉冲直流氧化物逐层溅射沉积分析化学（期刊）纳米技术光学化学冶金生物物理物理化学古生物学色谱法沉积物
网址	https://doi.org/10.35848/1347-4065/ac2b7c
DOI	10.35848/1347-4065/ac2b7c doi
其它	期刊：Japanese Journal of Applied Physics 作者：Hideo Isshiki; Yasuhito Tanaka; Kodai Miyagi; Tomoki Kasumi; Ghent Nakamura; et al 出版日期：2021-09-29
求助人	科研小能手在 2025-04-03 04:28:23 发布，悬赏 10 积分
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