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 Defect and roughness reduction of chemo-epitaxy DSA pattern 化学外延DSA图缺陷与粗糙度的降低
相关领域
德拉姆
外延
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期刊： 作者：Makoto Muramatsu; Takanori Nishi; Gen You; Yasuyuki Ido; Takahiro Kitano 出版日期：2018-03-19 |
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