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标题
Automated Lithography Resolution Enhancement with Deep Learning Enabled Layout Modification during Physical Design Stage
在物理设计阶段通过支持深度学习的布局修改实现自动光刻分辨率增强
相关领域
平版印刷术 计算机科学 阶段(地层学) 分辨率(逻辑) 物理设计 计算机体系结构 人工智能 纳米技术 材料科学 电子工程 系统工程 嵌入式系统 工程类 光电子学 电路设计 古生物学 生物
网址
DOI
10.1145/3649476.3658802 doi
其它 期刊:
作者:Zixi Liu; Yibo Lin; Xiaojing Su; Xiaohuan Ling; Xin Hong; et al
出版日期:2024-06-12
求助人
勤劳怜寒 在 2024-08-29 11:08:08 发布自四川,悬赏 10 积分
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