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Automated Lithography Resolution Enhancement with Deep Learning Enabled Layout Modification during Physical Design Stage
在物理设计阶段通过支持深度学习的布局修改实现自动光刻分辨率增强
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期刊: 作者:Zixi Liu; Yibo Lin; Xiaojing Su; Xiaohuan Ling; Xin Hong; et al 出版日期:2024-06-12 |
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