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CMOS Scaling for the 5 nm Node and Beyond: Device, Process and Technology
5 nm节点及以上的CMOS扩展:器件、工艺和技术
相关领域
CMOS芯片
节点(物理)
缩放比例
过程(计算)
材料科学
计算机科学
纳米技术
光电子学
工程物理
工程类
操作系统
数学
结构工程
几何学
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