Investigation of a Single-Component Additive for Bottom-Up Superfilling of the High-Aspect-Ratio TSV by Theoretical and Experimental Studies

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标题	Investigation of a Single-Component Additive for Bottom-Up Superfilling of the High-Aspect-Ratio TSV by Theoretical and Experimental Studies 高长径比TSV自下而上超级填充单组分添加剂的理论和实验研究相关领域材料科学电镀（地质）电镀电化学密度泛函理论甲磺酸化学工程纳米技术化学电极图层（电子）计算化学物理化学物理地球物理学工程类
网址	https://doi.org/10.1021/acs.jpcc.4c00989
DOI	10.1021/acs.jpcc.4c00989 doi
其它	期刊：The Journal of Physical Chemistry C 作者：Lina Qiu; Zi-Hong Ni; Qiancheng Sun; Xin-Ping Qu; Qunjie Xu 出版日期：2024-06-15
求助人	公冶青枫在 2024-08-16 17:24:43 发布自山东，悬赏 10 积分
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