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Ultrasonic coupled abrasive jet polishing (UC-AJP) of glass-based micro-channel for micro-fluidic chip
微流体芯片玻璃基微通道的超声耦合磨料射流抛光(UC-AJP)
相关领域
抛光
喷射(流体)
磨料
化学机械平面化
机械工程
超声波传感器
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材料科学
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期刊:International Journal of Mechanical Sciences 作者:Jiangqin Ge; Yile Ren; Chen Li; Zhaojun Li; Sun-ting Yan; et al 出版日期:2023-04-01 |
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