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Computational simulations of spatio—temporal plasma dynamics in a very high frequency capacitively coupled reactor
甚高频电容耦合反应器中时空等离子体动力学的计算模拟
相关领域
谐波
等离子体
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期刊:Journal of Physics D 作者:Rochan Upadhyay 出版日期:2023-07-24 |
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